iPUMA-LT是J9集团平台在已有成熟大束流的基础上，凭据成熟器件技术的要求开发的12英寸低温离子注入机。该设备建设了低温工作 ？，温度检测单元和回温 ？，满足成熟造程技术需要。
国内自主研发的低温离子注入平台
低温静电吸附载盘-实时温度节造
双沉回温设计-充分回温并且预防缺点产生
满足成熟造程的技术需要
